日本e-yamato高純氣體用壓力調節器調壓閥  SR-1LL/SR-2LL/SR-2.5LL 特點介紹

高純度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。

SR-1HLVI具有特殊結構，即使從調節器出口抽真空，二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。

即使進行抽真空，氣體也不會從入口側（一次側）流動。

可作為經濟產業大臣認證品生產。在高壓氣體設備中使用時，請選擇合格品。

也可制作流動方向體、左側入口（左高壓）型。

日本e-yamato高純氣體用壓力調節器調壓閥  SR-1LL/SR-2LL/SR-2.5LL 規格參數

SR-1LL

SR-2LL

SR-2.5LL

一次側壓力（MPa）

0.5~2

0.5~2

0.5~2

二次倒使用壓力（MPa）

0.05~0.99

0.1~0.6

0.1~0.8

使用溫度（度C）

-10~40（股計溫度:-10~7攝氏度）

1/4

外部響應量（Pam/sec）

螺紋接騰:1.01x10-以下焊接統:1.01x11-以下

接氣主

本體

要部材質

SUS316

材質記號

隔膜

SUS316

脫身

井材

PTFE

PCTFE

是476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

過濾器粗糙度

200墨西哥

量

(kg)

1.0

1.1

12

様準流量

8/min(mor.)

100(P=2MPa.P2=0.6MPa)

320（P）=2MPa，Pe=0.6MPa。

400(P)=2MPa.Pe=0.8MPa)

最大流量

/min(mor.)

120(P1=2MPa,Pa=0.6MPa)

400(P=2MPa,P2=0.6MPa)

500(P)=2MPa.P2=0.8MPa)