日本e-yamato高純氣體用壓力調節器半導體用 SR-2HH/SRQ-1HH 特點介紹

高純度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。

SR-1HLVI具有特殊結構，即使從調節器出口抽真空，二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。

即使進行抽真空，氣體也不會從入口側（一次側）流動。

可作為經濟產業大臣認證品生產。在高壓氣體設備中使用時，請選擇合格品。

也可制作流動方向體、左側入口（左高壓）型。

日本e-yamato高純氣體用壓力調節器半導體用 SR-2HH/SRQ-1HH 規格參數

SR-2HH

SRQ-1HH

一次側壓力（MPa）

2~20

4~20

二次側使用壓力（MPa）

1~15

3~15

使用溫度（度C）

-10~40（股計溫度:-10~7攝氏度）

3/8

1/4

外部記錄量（Pam2/sec）

螺紋接頭:1.01x10-以下焊接頭:1.02x10-以下

接氣主

本體

SUS316

SUS316L

要部材質

材貿記號

隔膜

SUS316

哈斯特洛伊

脫身

弁材

PEEK

PEEK

476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

SUS316L.SUS316.PTFE

過濾器粗糙度

40μm

40μm

質

量

(km)

4.3

1.3

標準流量

2/mininorNe)

1200（P=20MPa，P2=15MPa）。

160（P=15MPa，Pe=12MPa）

最大流量

/min(ar.N)

1600（P1=20MPa，Pz=15MPa）。

200（P=15MPa，Pz=12MPa）。