日本KLS半導(dǎo)體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈

日本KLS半導(dǎo)體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈
是“點(diǎn)光源"型高亮度放電燈，兼顧氙燈的連續(xù)光譜與汞燈的強(qiáng)線光譜，專為半導(dǎo)體曝光、PCB 圖形曝光、LCD 修補(bǔ)、熒光檢查等工業(yè)場(chǎng)景設(shè)計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)：KXES 76
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-12-03
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日本KLS半導(dǎo)體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈
日本KLS半導(dǎo)體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈

日本 KLS 的氙-水銀燈（氙氣汞燈，Xe-Hg）是“點(diǎn)光源"型高亮度放電燈，兼顧氙燈的連續(xù)光譜與汞燈的強(qiáng)線光譜，專為半導(dǎo)體曝光、PCB 圖形曝光、LCD 修補(bǔ)、熒光檢查等工業(yè)場(chǎng)景設(shè)計(jì)。主要特點(diǎn)如下：

光譜寬＋峰值強(qiáng)
200 nm–800 nm 連續(xù)譜上疊加 254 nm、365 nm、405 nm、436 nm 等汞線，一臺(tái)燈即可同時(shí)滿足 i-line（365 nm）曝光和可見(jiàn)光對(duì)準(zhǔn)，不必?fù)Q燈。
高亮度點(diǎn)光源
電弧長(zhǎng)度 1–3 mm，亮度 20–50 W mm?2 sr?1，可高效耦合到 φ3–φ5 mm 石英光纖或?qū)Ч獍簦瑢?shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離冷光照明。
快速啟動(dòng) / 熱重啟
內(nèi)置高壓氙氣，冷啟動(dòng) 30 s 達(dá) 80 %光通；熄燈后 3–5 min 可熱重啟，適合小批量、頻繁開(kāi)關(guān)的實(shí)驗(yàn)或檢修產(chǎn)線。
長(zhǎng)壽命、低光衰
直流 150 W、200 W、350 W、500 W、1 kW 多款，額定壽命 1 000–2 000 h；采用鉬箔封接與石英球泡，200 h 光衰＜10 %。
安全認(rèn)證
燈體帶防爆槽、臭氧過(guò)濾石英（O?-Free），通過(guò) PSE、CE 認(rèn)證；配套電源內(nèi)置電流反饋，電弧漂移＜0.2 mm，保證曝光均勻性。