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日本satotekkou耐火耐沖擊研磨材料碳化硅球

日本satotekkou耐火耐沖擊研磨材料碳化硅球
碳化硅是硅的碳化物，1891 年美國在嘗試合成鉆石時被偶然發(fā)現。它兼具多種優(yōu)異性能，傳統(tǒng)用作耐火材料、研磨/磨削材料，近年來作為精細陶瓷、工程陶瓷及半導體材料備受關注。

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  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-12-02
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詳細介紹

日本satotekkou耐火耐沖擊研磨材料碳化硅球
日本satotekkou耐火耐沖擊研磨材料碳化硅球

  1. 材料背景
    碳化硅是硅的碳化物，1891 年美國在嘗試合成鉆石時被偶然發(fā)現。它兼具多種優(yōu)異性能，傳統(tǒng)用作耐火材料、研磨/磨削材料，近年來作為精細陶瓷、工程陶瓷及半導體材料備受關注。
  2. 面向半導體部件的需求
  3. 基礎數據
    特征
  • 輕質、高溫強度保持性好
  • 熱導率高（≈ 120 W/m·K）
  • 耐磨損、耐熱沖擊
  • 高溫區(qū)機械強度下降小
  • 高硬度，滑動特性優(yōu)異
注意
  • 會被熔融鹽、熔融鐵溶解
用途
汽車發(fā)動機部件、化工泵、耐熱部件、耐磨損部件、半導體制造裝置部件、軸承等
  1. 球體使用示例
  • 球軸承 / 推力球軸承
  • 腳輪（自由滾珠軸承）
  • 圓珠筆筆尖滾珠

  1. 高純原料
  • 采用 β-SiC 或 α-SiC 99 % 以上高純粉體，金屬雜質 ≤ 0.05 %，滿足半導體級潔凈要求。
  1. 真球度與尺寸精度
  • 真球度 ≤ 3 µm（G3 級），直徑公差 ±0.5 µm（φ 0.3-50 mm 全尺寸對應）
  • 表面粗糙度 Ra ≤ 0.015 µm，降低滾動摩擦與顆粒脫落。
  1. 優(yōu)異的機械-熱性能
    | 項目 | 典型值 ||------|--------|| 密度 | 3.15 g/cm3（比鋼輕 60 %） || 維氏硬度 | 2 800 HV（是軸承鋼的 3 倍） || 彈性模量 | 410 GPa || 彎曲強度 | 550 MPa（1 200 ℃ 仍保持 80 %） || 熱導率 | 120 W/(m·K)（與鋁相當） || 熱膨脹系數 | 4 × 10?? /K（僅為鋼的 1/4） |
→ 高速、高溫、高載荷下仍保持剛性，且耐熱沖擊 ΔT > 400 ℃。
  1. 耐腐蝕-無磁性
  • 耐酸、堿、有機溶劑；無磁性，可用于 MRI、EUV、等離子體環(huán)境。
  1. 半導體/真空兼容
  • 真空脫氣 ≤ 1 × 10?? Pa·m3/s，符合 SEMI F57 標準；與 HF、HNO? 清洗液兼容。
  1. 尺寸系列與可追溯性
  • φ 0.3 mm – φ 50 mm 每 0.1 mm 一檔；提供半球、打孔球、球座定制。
  • 月產 50 萬粒，每批附 SEMI 格式檢驗報告（純度、真球度、表面粗糙度、裂紋檢測）。
  1. 典型應用
  • 半導體晶圓搬運機器人軸承、干式真空泵閥球
  • EUV 光刻機高真空球導軌、等離子體刻蝕設備球襯
  • 高溫化工泵、汽車渦輪增壓器軸承
  • 實驗室球-盤磨損試驗標準球（SiC-on-SiC）


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