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日本nikoha半導體等離子體CVD用微波電源本裝置為微波等離子體CVD、微波ECR等離子體等半導體制造工藝中的微波電源。產品覆蓋300 W至10 kW，具備高穩定性與低紋波特性。
產品型號：MKN-032廠商性質：經銷商更新時間：2025-11-29訪 問 量：32
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日本nikoha半導體等離子體CVD用微波電源
日本nikoha半導體等離子體CVD用微波電源
本裝置為微波等離子體CVD、微波ECR等離子體等半導體制造工藝中的微波電源。產品覆蓋300 W至10 kW，具備高穩定性與低紋波特性。
| 型式 | 頻率 | 額定輸出 | 所需電力 | 冷卻方式 | 外形 W×D×H (mm) | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MKN-032 | 2450 MHz | 120 W – 300 W | 1.3 kVA 單相 AC200 V | 電源+振蕩部 強制空冷 | 480×500×199 | 25 kg |
| MKN-152-3S9 | 2450 MHz | 150 W – 1.5 kW | 3.1 kVA 單相 AC200 V | 電源+振蕩部 強制空冷 | 480×550×199 | 40 kg |
| MKN-202-3S8 | 2450 MHz | 200 W – 2 kW | 5 kVA 3相 AC200 V | 電源強制空冷 + 振蕩部水冷 | 電源 480×500×299 振蕩部 300×310×280 | 電源 40 kg 振蕩部 30 kg |
| MKN-302-3S | 2450 MHz | 500 W – 3 kW | 7 kVA 3相 AC200 V | 電源強制空冷 + 振蕩部水冷 | 電源 480×600×409 振蕩部 340×270×270 | 電源 68 kg 振蕩部 20 kg |
| MKN-502-3S | 2450 MHz | 500 W – 5 kW | 11 kVA 3相 AC200 V | 電源強制空冷 + 振蕩部水冷 | 電源 480×600×409 振蕩部 370×270×270 | 電源 68 kg 振蕩部 25 kg |
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