日本Tekhne半導體氣體濕度控制用在線露點計
日本Tekhne半導體氣體濕度控制用在線露點計

TK-100系列是采用靜電容量式（阻抗式）技術的露點計，用于測量露點或含水率

采用靜電容量式陶瓷傳感器，露點測量精度可達±2°C，能夠精準檢測氣體中極其微量的水分含量變化

傳感器技術

• 高精度測量：采用靜電容量式陶瓷傳感器，露點測量精度可達±2°C，能夠精準檢測氣體中極其微量的水分含量變化。
• 快速響應：傳感器采用超薄多孔絕緣層（厚度0.5μm以下）和導電金屬層設計，響應時間可達秒級，能快速捕捉氣體中水分含量的細微波動。
• 溫度補償：結合溫度補償技術，確保輸出的線性化和數據的穩定性，即使在溫度變化的環境中也能穩定輸出數據。
• 傳感器互換性：每個傳感器的特性都記錄在變送器中，傳感器具有高度的兼容性和長期可靠性，能夠實現傳感器的互換。

測量范圍

• 寬量程覆蓋：露點測量范圍為-100°C至+20°C，能夠滿足半導體制造等對極低濕度環境進行監測的場合。

穩定性與耐受性

• 高穩定性：固態設計使其無需定期更換電解液，維護間隔可延長至1年以上，減少了設備維護工作量和停機時間。
• 耐腐蝕性：傳感器通常采用氧化鋁或陶瓷鍍膜技術，具有出色的耐腐蝕性，能夠在H?、HF等強腐蝕性工藝氣體環境中穩定工作。
• 寬溫工作范圍：能夠在-20°C至+50°C的環境溫度下正常運行，適應了不同區域的溫度變化。

易于集成與應用

• 多種安裝方式：支持直接管道安裝或旁路采樣，適配各種氣體管路和環境控制系統。
• 通信協議豐富：支持4-20mA模擬信號輸出、RS485數字通信以及Modbus RTU協議等，能夠輕松與PLC、SCADA系統以及工廠的MES實現無縫對接。
• 便攜性：有便攜式型號，如TK-100便攜式YN型重量僅為2kg，使用4節AA電池可連續使用約15小時，便于攜帶和現場測量。