日本HORIBA崛場半導體領域微量氣體分析儀
日本HORIBA崛場半導體領域微量氣體分析儀

產品特點

• 超高靈敏度分析：采用交叉調制方式非分散紅外吸收法(NDIR)，實現長期穩定連續測量，達到零漂移。
• 高靈敏度：最小檢測限為10 ppb，適合需要高精度的現場使用。
• 純氣體中的微量測量：支持氮氣(N?)、氧氣(O?)、氦氣(He)、氬氣(Ar)、氫氣(H?)、空氣(Air)等代表性氣體的微量測量。對于其他基礎氣體的測量需求，請聯系廠家咨詢。
• 簡單操作，免維護：無需特殊操作，所有操作包括校準和測量都可以在屏幕上完成。采用HORIBA交叉調制方式非分散紅外吸收法，無需光學調整，實現免維護。配備彩色觸摸屏，液晶屏可顯示圖表，提高可視性。

應用示例

• 空氣分離工廠中的雜質氣體監控：工業用氣體如氧氣和氮氣通常由空氣分離工廠制造。原料空氣(Air)經過去除水分(H?O)和二氧化碳(CO?)后，利用沸點差異等方法分離制造氮氣(N?)、氬氣(Ar)、氧氣(O?)。一些工廠還生產稀有氣體等。這些氣體的純度和質量管理中使用了HORIBA的微量氣體分析儀。

測量原理

• 交叉調制式非分散紅外吸收法（雙光束）：利用一定周期切換的電磁閥，使樣品氣體和參比氣體交替流入同一個氣體池，獲得調制的被測氣體濃度信號。這種方法在樣品氣體和參比氣體相同（零點）時不產生調制信號，且無需使用旋轉扇區等機械結構，從而獲得長期穩定的輸出信號。同時，檢測器內的電容麥克風膜片左右移動，獲得旋轉扇區使用時兩倍的信號量，提高信噪比。下圖顯示了交叉調制式非分散紅外吸收法（雙光束）的噪聲水平，非常低且穩定。這樣，在高純度氣體中的微量濃度測量中，也實現了零漂移的長期穩定測量和低噪聲水平。