日本NPC手持式非接觸式面電阻測試儀高精度 sigma-5+ 特點介紹

探頭接觸樣品即自動開始測量

可通過JOG旋鈕快速設定測量條件

5種測量范圍探頭可根據樣品電阻率進行更換    

可選配P/N型判定量測功能

應用：硅片樣品， 化合物半導體， 外延層， 擴散層， 碳化硅， 薄膜材料， 金屬膜， ITO,  IZO, Low-E玻璃, LED/OLED等材料

日本NPC手持式非接觸式面電阻測試儀高精度 sigma-5+ 規格參數

它可以精確測量硅片等的電阻率，還有用于太陽能電池的硅的便攜式探頭。

這是一款高精度電阻率測量儀器，采用20多年電阻率測量相關的專業知識和技術設計和開發。

可以在半導體基板和導電薄膜基板的研發/檢查過程或生產線中高精度地確定和評估薄層電阻值和體積電阻值。

?帶有開關功能的智能面板，可進行詳細設置

?緊湊的桌面尺寸設計

?從低電阻到高電阻的寬測量范圍

?電流極性切換測量可抑制因整流而產生的誤差

?每次測量開始時自動調零功能

?自動設定最佳電流的自動量程功能

?試樣厚度修正功能

?測量值平均值顯示和打印機平均值計算功能

?半導體溫度校正功能

?各種溫度修正系數輸入功能

?帶數據打印機接口

?具有數據連接接口

這是一款手動型測量儀器，采用四探針法，可輕松準確地測量太陽能電池用硅片、液晶基板、金屬薄膜等的方塊電阻或體積電阻。它支持從低電阻到高電阻的各種測量。

1) 用于硅錠制造→晶圓制造工序（成膜等各工序）的產品檢查　

2) 液晶面板（LCD基板）制造：成膜時的產品檢查

3) 用于各種導電材料制造過程中的產品檢驗

可以使用本公司另外配置的“4點探頭"進行測量。