日本Anelva寬量程電離真空計高精度真空測量 M-833HG 特點介紹

M-833HG 是微型 BA 儀表專用的控制單元。作為選件，還提供支持各種儀表、數據輸出等的擴展板。

通過組合微型 BA 真空計和 TC 真空計（可選）并安裝自動切換真空計的自動燈絲，可以實現從大氣壓到超高真空的高精度真空測量。非常適合安裝高真空至超高真空設備。

自動化真空設備的壓力測量

濺射等工藝壓力的測量和控制

多室系統中的壓力測量

通用真空設備壓力測量

日本Anelva寬量程電離真空計高精度真空測量 M-833HG 規格參數

型號名稱M-833HG

測量球微型量規MG-2系列 

壓力顯示范圍0.1×10 -7 ～ 1.32×10 1 Pa  *1 

壓力顯示自動測量量程切換 

設定點2點標準裝備（集電極開路） 

數模輸出0 至 10 V：尾數輸出、指數輸出

0 至 11 V：復合輸出或對數輸出 

模擬輸出

（靜電計輸出）設置 APC 模式時（0.1 至 2.5 V）

設置正常模式時（0.1 至 1.6 V） 

外部控制功能

（遠程操作）輸入 燈絲ON/OFF、

脫氣ON/OFF等

6種外部控制功能 

 輸出 6種狀態信號輸出 

特殊功能APC兼容：量程保持功能

靜電計輸出功能 

外形尺寸(mm)/質量H99×W209×D330，1.9 kg（未安裝選件板） 

所需電源100 至 240 VAC *2

100 VA 或更少，50/60 Hz 

發射電流10μA、100μA、1mA自動切換設定或固定設定 

排氣柵極電流加熱方式 

燈絲開關按鍵和遠程 I/O 操作 

燈絲保護超范圍設定點或發射電流 ±50% 變化