日本佳能anelva高抽速組合泵真空泵泵控制器 特點介紹

通過將鈦升華泵和三極管離子泵（貴族泵）組合在一起，組合泵利用離子泵輕松產(chǎn)生清潔超高真空的能力，并以低廉的價格獲得高抽速。

抽速大

每抽速1L/s的價格（包括控制裝置的價格）約為離子泵的1/2至1/3。

與相同抽速的離子泵相比，輕便緊湊

，體積和重量僅為1/5至1/10。因此，它可以很容易地安裝和從排氣系統(tǒng)中拆卸，并且可以在很小的空間內(nèi)實現(xiàn)高排氣速度。

氣相沉積設備、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、真空爐、各種分析設備、實驗設備、排氣設備以及其他釋放大量氣體的超高真空系統(tǒng)。

日本佳能anelva高抽速組合泵真空泵泵控制器 規(guī)格參數(shù)

排氣速度/排氣流量參考圖1 

工作壓力范圍10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 

烘烤溫度最高250℃ 

大量的約15公斤 

進氣法蘭φ152ICF法蘭 

內(nèi)容積4.5升 

適用控制裝置922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 

排氣速度/排氣流量見圖2 

工作壓力范圍10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 

烘烤溫度最高250℃ 

大量的約25公斤 

進氣法蘭φ203ICF法蘭 

內(nèi)容積約7.5升 

適用控制裝置922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器