日本anelva佳能離子泵/Noble泵控制裝置真空  P-500 特點介紹

是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作離子泵或惰性泵的控制裝置。顯示屏采用大型綠色 LED 來提高遠距離可視性

在考慮與以前型號的兼容性的同時，我們實現了改進的功能以及 CE 和 RoHS 合規性。

除了豐富的I/O功能外，還可以通過添加選件板來支持RS232C通信，非常適合自動化設備和遠程控制設備。

離子泵和惰性泵有兩種類型：超高真空型和高輸出型，可操作壓力范圍和啟動壓力根據所連接的泵而變化。

日本anelva佳能離子泵/Noble泵控制裝置真空  P-500 特點介紹

實現了高壓電源所需的高水平基本功能，例如提高了監控高性能電流和電壓值時的最小可顯示值、增加了壓力顯示以及各種保護功能兼容硬制程

兼容各種I/O標準設備的外部控制，包括兩個標準設定點、

斷電自動恢復（可選）

高兼容性

確保遠程連接器、輸入電纜和輸出電纜與之前型號的兼容性

通訊兼容

RS232C（可選（工廠內置兼容））

符合標準

CE 標志，符合 RoHS 指令

電子顯微鏡、電子束光刻設備

離子束設備、掩模修復設備

存儲環、光束線等加速器相關系統

MBE、表面分析設備等超高真空設備、各種分析設備等