日本mirapro真空沉積/蝕刻設備冷陰極測量儀 CCTG110S 特點介紹

冷陰極Tough Gauge CCTG（冷陰極Tough Gauge）通過加熱陰極電極，防止以前不可能實現的電極污染，并實現超高真空區域的穩定放電。

此外，通過使用陶瓷作為陰極材料，它具有很高的耐腐蝕性。

可以測量以前無法測量的鹵素氣體氣氛的壓力。

日本mirapro真空沉積/蝕刻設備冷陰極測量儀 CCTG110S 規格參數

壓力單位硬模式除氣接口輸入信號輸出信號壓力信號輸出輸入動作連接凸緣訂購型式Pa，托爾mbar測量時對陰極進行通電加熱（溫度可設定為3級）將陰極進行閃光加熱至約700°CRS232C、USB顯示器（TGD100）、PC連接可開始/停止測量、除氣、硬模式ON/OFF設定點觸點×2ch、報警接點0-10V 2chAC85～240V 50/60HzNW25、ICF70NW25釹磁鐵:CCTG110S-NW25ICF70薩馬科瓦磁鐵:CCTG110S-CF70偏置電壓3kV～500V最佳控制密封部材質巴頓密封（NW25）金屬O形圈密封（ICF70）

污染源是從測量對象物發出的物質以及從用于控制和測量的傳感器和配線發出的氣體，并且由于這種污染而附著在真空計上，導致精度下降。

在塑料表面進行氣相沉積時，由于增塑劑的蒸發等，會發生污染。真空設備內部的配線、電機、密封材料等產生有機污染氣體而造成的污染。在半導體制造設備中，有機金屬原料氣體和抗蝕劑殘留，成為污染源。

這些污染物會導致嚴重的問題。

由柵極污染引起的問題包括由于發射功率增加而導致的靈敏度降低、發射停止和燈絲斷裂。

另外，由于收集器的污染而導致真空計的靈敏度降低，