日本日酸TANAKA低壓用大流量壓力調節器 TANAKA日酸 TORR-350 特點介紹

●TORR系列是憑借長期的業績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●還可制作電解研磨規格品（。接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25微米）

●TORR-350系列作為一次低壓用大流量機種，可用于液化氣的大流量供給設備和大口徑配管等。

●由于沒有內置過濾器，請在配管上施工過濾器。

日本日酸TANAKA低壓用大流量壓力調節器 TANAKA日酸 TORR-350 規格參數

●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋子:調壓手柄:SUS316L氯羅聚丙烯橡膠（氣體接觸面特氟龍罩）SUS316LSUS316L、SUS316、氟樹脂C3604

●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:出入口口徑:外部泄漏量:1.5MPa0.6 MPa230m3/h（或）（P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2氣體）-5～40°C10kg1/2"1.3×10-6Pa m3/sec以下（螺紋連接）1.3x 10-7Pa m3/sec以下（焊接連接）