日本日酸TANAKA壓力調節器液化氣體用減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900 特點介紹

●S-TORR調節器是在半導體工藝氣體生產線中備受信賴的TORR調節器基礎上開發的超高純度氣體用壓力調節器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結構，標準實施電解研磨，實現了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結構。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●STV1900系列是專用的壓力調節器，專為最難以產生的最佳中間壓力而設計，以防止內部泄漏。

日本日酸TANAKA壓力調節器液化氣體用減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900 規格參數

接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316LSU S316LSUS316L4LSUS316L、SUS316、氟樹脂C3604ABS樹脂、C3604

入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部表面粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa0.6MPa30L/min（無）（P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2GAS）-5～40°C1.2kg（2端口）、1.6kg（3端口）20μmRa0.25μm（可選:Ra0.1μm）1/4"1.3x 10-11Pa m3/sec以下