日本日酸TANAKA腐蝕性氣體用壓力調整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH 特點介紹

●S-TORR調節器是在半導體工藝氣體生產線中備受信賴的TORR調節器基礎上開發的超高純度氣體用壓力調節器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結構，標準實施電解研磨，實現了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結構。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●STV2300SH系列被稱為重要部件的腐蝕性氣體影響特別大的部件，STV2300AH系列在調整器主體的接觸氣體金屬部分全部采用耐腐蝕性高的Ni-Cr-Mo合金。

日本日酸TANAKA腐蝕性氣體用壓力調整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH 規格參數

●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS3 16L（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金（2300AH系列）Ni-Cr-Mo合金Ni-Cr-Mo合金SUS3 16LSUS316L（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金（2300AH系列）Ni-Cr-Mo合金、SUS316 L、氟樹脂（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金、氟樹脂（2300AH系列）C3604ABS樹脂、C36 04