日本YUTAKA焊接壓力調節器減壓閥U31系列 U31SS/U31SV/U31VH 特點介紹

超高純度半導體制造工藝用精密壓力調節器

功能金屬墊片配件焊接規范調節閥結構平密封式散裝氣體兼容氣體氣體以外的氣體標準流量100～500NL/分鐘

日本YUTAKA焊接壓力調節器減壓閥U31系列 U31SS/U31SV/U31VH 規格參數

入口壓力 6MPa以下 

調節壓力 Max.0.99MPa（范圍規格：0～0.5MPa、0～0.99MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化量0.00086MPa 

承受壓力 一次側9MPa 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 約1.4公斤 

e-flow 高純度氣體壓力調節器旨在用于半導體工廠，是一種提高純度并最大限度地減少外部泄漏、顆粒和死區的產品。

它用于多種氣體，包括半導體工廠設施的氣瓶柜、連接裝置、閥箱以及設備制造商的集成單元。
該產品具有優良的氣密性，非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性的輸送。

L系列：對焊接頭、外密封金屬結構的產品。
R系列：閥體旋入式（NPT）規格、外部軟密封結構的產品。焊接規范為承插焊。
D系列：將L、R系列與壓力控制部分組合而成的先導結構電子控制壓力調節器。
U系列：特殊規格有機加工主體、對焊規格，外部密封采用金屬密封結構。