日本進口YUTAKA高壓標準U20系列壓力控制器 U20SS/U20SH/U20SV 特點介紹

超高純度半導體制造工藝用精密壓力調節器

功能高壓

焊接規范金屬墊片配件調節閥結構針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標準流量～60NL/分鐘

日本進口YUTAKA高壓標準U20系列壓力控制器 U20SS/U20SH/U20SV 規格參數

入口壓力 14.8MPa以下 

調節壓力 Max.0.99MPa（范圍規格：0～0.5MPa、0～0.99MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化量0.00086MPa 

承受壓力 一次側22.2MPa 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 約1.4公斤 

類型U20SSU20SHU20SVU20VH

氣體接觸部分 

主體SUS316L SUS316L

真空雙熔材料 

隔膜哈氏合金®C-22 

閥座PCTFE（Daiflon®） 

調節閥桿SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 哈氏合金®

C-22 

壓力表連接密封墊片你 

非氣體接觸部分 

調節器蓋SUS304 

調節器蓋ABS樹脂 

它用于多種氣體，包括半導體工廠設施的氣瓶柜、連接裝置、閥箱以及設備制造商的集成單元。
該產品具有優良的氣密性，非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性輸送。